ミラー の意味・用法を知る

かすめ入射 ミラー 、かすめ入射ミラーを含むリソグラフィ装置、かすめ入射ミラーを提供する方法、かすめ入射ミラーのＥＵＶ反射を強化する方法、デバイス製造方法およびそれによって製造したデバイスを提供すること。

• 公開日： 2005/12/15
• 出典： かすめ入射ミラー、かすめ入射ミラーを含むリソグラフィ装置、かすめ入射ミラーを提供する方法、かすめ入射ミラーのＥＵＶ反射を強化する方法、デバイス製造方法およびそれによって製造したデバイス
• 出願人： エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

本開示は、駆動制御装置および駆動制御方法、並びに映像出力装置に関し、特に、走査 ミラー の機械共振周波数の影響を抑制することができるようにした駆動制御装置および駆動制御方法、並びに映像出力装置に関する。

• 公開日： 2014/05/22
• 出典： 駆動制御装置および駆動制御方法、並びに映像出力装置
• 出願人： ソニー株式会社

参照値を求める操作は、測定対象物の反射率の測定操作に先行して、あるいは測定操作の後に行われる。具体的には、反射率が既知の標準 ミラー を準備し、これを測定対象物としてその反射面に対して当該反射率測定装置により光を照射して反射光の放射照度を測定すればよく、これにより、当該反射率測定装置における参照値が求められる。

• 公開日： 2002/06/26
• 出典： 分光反射率測定装置および分光反射率測定方法
• 出願人： ウシオ電機株式会社

このように構成することによって、偏光光が波長選択 ミラー のミラー面で反射されても、その反射によって、偏光光線の偏光状態が変化することがなく、偏光光線が楕円偏光になることはない。

• 公開日： 2003/02/26
• 出典： プロジェクタ
• 出願人： セイコーエプソン株式会社

製造上の諸問題の結果として、ＤＭＤの一つまたはそれ以上の ミラー が、オンまたはオフの正しい角度に傾斜しないことが起こり得る。こうした欠陥をテストするための何らかの手段を有することが望ましい。

• 公開日： 1997/01/21
• 出典： ディジタル・マイクロミラー・デバイスの性能試験のための光セパレータ
• 出願人： テキサスインスツルメンツインコーポレイテッド

しかし、より効果的なカーブ ミラー の曇り及び結露を防止する装置を提供すべく鋭意研究の結果、以下のような手段を採用すればより効果的にカーブミラーの曇り及び結露を防止できることを発見した。

• 公開日： 2000/07/11
• 出典： 曇り及び結露を防止するための装置を備えたカーブミラー
• 出願人： 宮木武次

リソグラフィ機器で使用する ミラー 上での所定の金属の上部層８の使用、リソグラフィ機器で使用するミラー、及びこのようなミラー又はリソグラフィ機器で使用する上部層を備えたミラーを有するリソグラフィ機器を提供すること。

• 公開日： 2005/05/19
• 出典： リソグラフィ機器で使用するミラー上での上部層の使用、リソグラフィ機器で使用するミラー、このようなミラーを備えるリソグラフィ機器、及びデバイスの製造方法
• 出願人： エーエスエムエルネザーランズビー．ヴイ．

また、上記のような小型化したガルバノ ミラー を用いれば、これを備えた光走査装置や画像形成装置自体も小型化できる。また、光走査装置では品質性の高い光走査が可能となり、画像形成装置では品質性の高い画像を形成できる。

• 公開日： 2002/08/14
• 出典： ガルバノミラー及びガルバノミラーを備えた光走査装置及び画像形成装置
• 出願人： キヤノン株式会社

これは、 ミラー の波形部が下部に配置されているので、光源に最も近いミラーの部分が発生する大きい像を広げることができるためである。波形部の上に配置される非波形部は、最大光度の周囲にいっそう集中される、いっそう小さい像を発生する。これらの、より小さい像は拡散されない。そのため、光帯の最大部の配置と光度はほとんど影響を受けない。

• 公開日： 2011/02/10
• 出典： 自動車のヘッドランプのための照明モジュールと、少なくとも１つのこのようなモジュールを備えたヘッドランプ
• 出願人： ヴァレオビジョン