パターン形状 の意味・用法を知る

給電部直下での分極反転を防止すると共に、周期分極反転用電極の パターン形状 が正確に反映された、分極反転部分の形状が均一な分極反転構造を基板の厚みに依らずに実現できる周期分極反転用電極、周期分極反転構造の形成方法及び周期分極反転素子を提供する。

• 公開日： 2013/08/19
• 出典： 周期分極反転用電極、周期分極反転構造の形成方法及び周期分極反転素子
• 出願人： 株式会社島津製作所

解決しようとする問題点は、上述したように、感度及び密着性に優れ、適切な パターン形状 や微細パターンを得ることのできるアルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物がこれまでなかったということである。

• 公開日： 2009/11/26
• 出典： 新規化合物、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物
• 出願人： 株式会社ＡＤＥＫＡ

解決しようとする問題点は、上述したように、撥インク性とアルカリ現像性に優れ、感度、解像度、透明性、密着性、耐アルカリ性等の特性を保持したままで適切な パターン形状 や微細パターンを効率よく得ることのできるアルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物がこれまでなかったということである。

• 公開日： 2009/01/29
• 出典： 含フッ素共重合体、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物
• 出願人： 株式会社ＡＤＥＫＡ

解決しようとする問題点は、上述したように、感度が充分で、適切な パターン形状 や微細パターンを得ることのできるアルカリ現像型感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物がこれまでなかったということである。

• 公開日： 2008/12/18
• 出典： アルカリ現像型感光性樹脂組成物、それを用いて形成した液晶分割配向制御突起付き基板及びカラーフィルタ、並びに液晶表示装置
• 出願人： 凸版印刷株式会社

解決しようとする問題点は、上述したように、感度及び耐アルカリ性に優れ、適切な パターン形状 や微細パターンを得ることのできるアルカリ現像性樹脂組成物、及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物がこれまでなかったということである。

• 公開日： 2008/09/11
• 出典： フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物
• 出願人： 株式会社ＡＤＥＫＡ

かかる露光工程においては、基板上のレジスト膜に対して、ＤＵＶ露光装置、ＥＵＶ露光装置、電子線描画装置、Ｘ線露光装置、エキシマレーザ露光装置等の露光装置を用いて、所定の パターン形状 を有するマスクを介した露光、又は当該マスクを介さない電子線の直接照射により描画等を行う。

• 公開日： 2013/03/04
• 出典： レジストパターン形成方法、並びにそれを用いたナノインプリント用モールド、フォトマスク及び半導体デバイスの製造方法
• 出願人： 大日本印刷株式会社

微細なパターンを含むフォトマスクの パターン形状 の定量的な計測を可能にすることにより、正確かつ高精度な形状計測評価装置及び形状計測評価方法並びに形状計測評価プログラムを記録した記録媒体を提供する。

• 公開日： 2001/04/13
• 出典： マスクパターン形状計測評価装置
• 出願人： 凸版印刷株式会社

ＬＣＤなどの製造に使用される階調をもつフォトマスクの半透明領域の欠陥部修正方法において、多大な時間を要せず簡単な方法で修正箇所の最適な修正用 パターン形状 を決め、その最適な修正用パターン形状に基づいて欠陥部を修正する欠陥部修正方法および修正後の修正部の評価方法を提供する。

• 公開日： 2008/02/14
• 出典： 階調をもつフォトマスクの欠陥部修正方法および修正箇所の評価方法
• 出願人： 大日本印刷株式会社

装置の構成を変更することなく、被処理体の表面に対して処理を行うための所望の パターン形状 に応じて、被処理体の表面に対して部分的に確実に表面処理を行うことができる表面処理装置および表面処理方法を提供すること。

• 公開日： 2005/04/28
• 出典： 表面処理装置および表面処理方法
• 出願人： セイコーエプソン株式会社

すなわち、任意の抵抗値を得る場合、抵抗体材料の導電率、抵抗体の パターン形状 、つまり抵抗体の長さと幅、抵抗体の膜厚により抵抗値は決定されるもので、概ね抵抗値は下記の式により決定される。

• 公開日： 2001/09/21
• 出典： 薄膜多連チップ抵抗器
• 出願人： パナソニック株式会社

高い透明性と高い解像度を併せ持ち、かつ高感度であり、さらに塗布均一性、現像性、 パターン形状 、耐熱性、保存安定性等を満足する光硬化性樹脂組成物を提供することである。さらに、該光硬化性樹脂組成物を用いた表示素子を提供すること。

• 公開日： 2004/03/11
• 出典： 光硬化性樹脂組成物およびそれを用いた表示素子
• 出願人： チッソ株式会社

近年、微細 パターン形状 の薄膜を形成するために、ネガ型ではなく、ポジ型の感光性組成物が開発されてきている。ポジ型の感光性組成物では、現像に際し、露光部の感光性組成物が現像液に確実に溶解し得ることが強く求められた。

• 公開日： 2009/11/12
• 出典： 感光性組成物及びパターン膜の製造方法
• 出願人： 積水化学工業株式会社