スラリー の意味・用法を知る

そこでウエハの被研磨面全域に研磨 スラリー を行き渡らせ、不純物を研磨スラリーに取り込ませて研磨パッド外部に排出することで、ウエハへの付着を防ぐ。しかもウエハの被研磨面全域に研磨スラリーを行き渡らせることで、被研磨面内から研磨不足部分を無くし、被研磨面内の研磨レートを均一にする。

• 公開日： 1998/08/25
• 出典： 研磨パッドとその製造方法並びにその研磨パッドを用いたウエハの研磨方法
• 出願人： ソニー株式会社

圧力損失の増大や、膜の閉塞による回収率の大幅な低下を抑制しながら、研磨剤が高濃度に濃縮された スラリー を回収可能な研磨剤の回収装置および研磨剤の回収方法を提供する。

• 公開日： 2012/09/13
• 出典： 研磨剤の回収方法および研磨剤の回収装置
• 出願人： 野村マイクロ・サイエンス株式会社

ところがゴム含有グラフト共重合体がラテックスであれば、硬質非弾性重合体をラテックスや スラリー で添加しても、凝固する際に該グラフト共重合体粒子の中に該多段重合体粒子が取り込まれてしまい、該グラフト共重合体粒子の表面を覆う該重合体粒子が極端に少なくなるために、該グラフト共重合体に対する粉体特性を改良する効果が非常に小さくなってしまうものと思われる。

• 公開日： 1994/09/20
• 出典： ゴム含有グラフト共重合体粒子の製造方法
• 出願人： 三菱レイヨン株式会社

以上が、本実施形態における加工液あるいは研磨剤 スラリー の製造方法である。さらに、製造した加工液あるいは研磨剤スラリーを工作物の加工点あるいは工具に供給しながら、切削加工、塑性加工、研削加工、研磨加工、等を行う。

• 公開日： 2001/08/28
• 出典： 加工液およびその製造方法ならびにその加工液を用いた加工方法
• 出願人： 株式会社リコー

しかし、この中でも、未反応塩化ビニル系単量体の回収時間の短縮化を図る試みについては、未反応塩化ビニル系単量体回収時に塩化ビニル系重合体 スラリー 内に溶存している未反応塩化ビニル系単量体が気化することから発泡が起こり、これにより塩化ビニル系重合体スラリーが配管を閉塞する等の問題が発生し、未反応塩化ビニル系単量体の回収速度を高めることができず、製造サイクル時間の短縮化という目標を達成することが困難であった。

• 公開日： 2000/04/25
• 出典： 塩化ビニル系重合体の製造方法
• 出願人： 東ソー株式会社

気液の接触を円滑に行うことができる気液接触装置ないし気液接触方法、あるいは粘性固形物を含んだ スラリー であっても効率的な気液接触を行わせることができる脱溶媒装置を提供する。

• 公開日： 2009/08/13
• 出典： 気液接触装置および脱溶媒装置並びに気液接触方法
• 出願人： ＪＳＲ株式会社

従来の冷水による冷熱の輸送の場合と同等またはより少ない動力、およびより小径の配管等により同等の冷熱を輸送することを可能とし、既存の配管や既存の資材、機器を転用でき、また輸送に必要な動力の増加を招くことがなく、エネルギ節減の効果を減殺することがない水和物 スラリー の輸送方法および装置を提供する。

• 公開日： 2006/12/14
• 出典： 冷熱輸送方法、水和物スラリーの輸送装置及び地域冷暖房システム
• 出願人： ＪＦＥエンジニアリング株式会社

攪拌機を有する洗浄槽であって、槽底部に焼結金網積層濾材を有するフィルターを設置してなる懸濁 スラリー の洗浄槽、および該洗浄槽において、フィルターを通して洗浄用溶媒を洗浄槽内へ供給することを特徴とする懸濁スラリーの洗浄方法。

• 公開日： 1994/08/16
• 出典： 懸濁スラリーの洗浄槽および洗浄方法
• 出願人： 住友化学株式会社

なお、以上では、未焼結支持層上に、未焼結透過層を形成するにあたり、未焼結支持層上に、ドクターブレード法により、透過層用の スラリー によるスラリー層を形成しているが、未焼結支持層上に、透過層用のスラリーを噴霧して、透過層用のスラリー層を形成してもよい。この場合、透過層用のスラリーには、支持層用のスラリーに、さらに、多くの溶剤を混入して、噴霧性を高める必要がある。

• 公開日： 2012/05/17
• 出典： 高温シール材料、高温シール体、及び高温シール体を含む酸素透過モジュール
• 出願人： 三菱日立パワーシステムズ株式会社

下部可動栓に設けられた配管は、液体を流通させる機能を有し、詳しくは、充填剤の充填時における充填剤収容空間内の スラリー から絞り出される液の排出路となり、充填剤を充填した後に得られる充填剤充填カラム集合体におけるたとえば擬似移動床式分離装置の循環流体流路の一部となる。

• 公開日： 1997/07/15
• 出典： 擬似移動床式分離装置用充填剤充填装置、擬似移動床式分離装置用カラム内に充填剤を充填する方法、擬似移動床式分離装置用充填剤充填カラム集合体及び擬似移動床式分離装置
• 出願人： 株式会社ダイセル

また、自己流動性水硬性 スラリー 生成装置が、自己流動性水硬性組成物をホッパーに供給する自己流動性水硬性組成物供給装置を更に備えることで、自己流動性水硬性スラリーの大量打設をより確実にする。

• 公開日： 2013/10/07
• 出典： 自己流動性水硬性スラリーの施工方法
• 出願人： 宇部興産株式会社

半導体ウエハの研磨中においては、研磨パッドの表面の凹凸がウエハに接することによりウエハの表面が研磨される。研磨を行なうと、研磨パッドの表面の凹凸は、半導体ウエハと接することによって変形する。研磨パッドの表面の凹凸は、部分的に半導体ウエハに密着した状態になる。半導体ウエハと密着した凹凸の部分では、機械的な研磨作用が働いて研磨が行なわれる。その他の凹凸の部分では、 スラリー などが溜まることによって、化学的な研磨作用が働いて研磨が行なわれる。

• 公開日： 2005/09/08
• 出典： 半導体ウエハの研磨状態識別装置、半導体ウエハの研磨装置、および半導体ウエハの研磨方法
• 出願人： ルネサスエレクトロニクス株式会社

中子の形状は、常により複雑であり、特には特定の領域の壁が常により薄い。結果として、注入の限界に達することがしばしばであり、金型の凹所を満たすために、より流動的な スラリー の開発が必要であり、あるいはより高い圧力を使用する必要がある。

• 公開日： 2007/12/06
• 出典： ターボ機械のブレード用のセラミック製中子の製造プロセス
• 出願人： スネクマ

これにより、排ガス浄化用触媒を製造する際に、 スラリー のせん断速度が異なる複数の工程に適する粘度にスラリーを調整できることから、排ガス浄化用触媒の効率的な製造が可能となる。

• 公開日： 2009/01/22
• 出典： スラリーの粘度調整方法およびスラリーの製造方法
• 出願人： 株式会社キャタラー