スピン処理装置 の意味・用法を知る

従来、上記紫外線照射装置や乾燥処理装置は スピン処理装置 とは全く別のところに設置されていたり、予めそれらの処理が必要である場合には、生産工程においてスピン処理装置の上流側に紫外線照射装置、下流側に乾燥処理装置を配置するということが行われていた。

• 公開日： 2001/09/07
• 出典： 基板の処理装置
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社

このように、超音波振動が付与された処理液で被処理物を処理する スピン処理装置 においては、処理液に所定の強度の超音波振動が付与されているか否かを測定する必要があるものの、従来のスピン処理装置においてはそのようなことが行われていなかった。

• 公開日： 2000/04/21
• 出典： スピン処理装置及びスピン処理方法
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社

スピン処理装置 において洗浄処理された被処理物は、次工程に搬送する前に、処理液を供給しない状態で高速回転させ、遠心力によって表面に付着した処理液を乾燥除去するということが行われる。

• 公開日： 2000/04/11
• 出典： スピン処理装置
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社

このように、従来の スピン処理装置 においては、被処理物に向けて処理液を噴射するノズル体が軸線を垂直にした角度で固定されていたので、処理や処理液のの種類によっては処理効率を十分に向上させることができないということがあった。

• 公開日： 1998/05/29
• 出典： スピン処理装置
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社

枚葉方式の洗浄処理装置には、基板を回転させながら洗浄する スピン処理装置 がある。このスピン処理装置は回転駆動される回転体を有し、この回転体には基板の周縁部を保持するための支持ピンが設けられている。

• 公開日： 2000/09/14
• 出典： スピン処理用支持ピン及びスピン処理装置
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社

枚葉方式の洗浄処理装置には、ワークを回転させながら洗浄する スピン処理装置 があり、このスピン処理装置において、洗浄効果を高めるためには、回転駆動されるワークの上面に処理能力の異なる複数種の処理液を順次噴射するということが行われている。

• 公開日： 2000/03/07
• 出典： スピン処理装置及びその方法
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社

このように、 スピン処理装置 によって半導体ウエハＷのエッチングを行なうことができるようにしたから、そのエッチング処理をスピン処理装置によるスピン処理と連続して行なうことができる。そのため、生産性の向上を図ることができるばかりか、エッチング処理専用の装置を必要としないという利点を有する。

• 公開日： 2005/04/14
• 出典： 処理液による基板の処理装置
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社

上記基板を洗浄処理する装置として スピン処理装置 が知られている。スピン処理装置は処理槽を有し、この処理槽内にはカップ体が設けられている。このカップ体内には回転テーブルが設けられ、この回転テーブルには上記基板が着脱可能に保持される。

• 公開日： 2003/07/31
• 出典： 被処理物の処理装置
• 出願人： 芝浦メカトロニクス株式会社