スパッタリング の意味・用法を知る

このように、 スパッタリング 装置へのディスク供給排出装置は、ディスクをスパッタリング装置へ供給し、スパッタリングが完了したディスクをスパッタリング装置から排出する働きをしている。

• 公開日： 1995/10/20
• 出典： スパッタリング装置へのディスク供給排出装置
• 出願人： ユニバーサルミュージック合同会社

これらの誘電体層は、反応性 スパッタリング 、或いは、高周波スパッタリングにより得られる。誘電体層上に形成する光記録層としては、各種のものを採用することができ、例えば光磁気記録層、相変化型記録層あるいは色素型記録層が用いられる。また、層構成としても特に制限はなく、各種層構成を採用することができる。

• 公開日： 2001/08/03
• 出典： 情報記録媒体の製造方法
• 出願人： 昭和電工株式会社

基板上に軟磁性層を形成する方法において、該基板に直流バイアス電圧を加えながら スパッタリング を行う軟磁性層を形成した基板の作製方法、該作製方法により作製された軟磁性層を形成した基板、該軟磁性層の上にすくなくとも磁気記録層を設けた磁気記録媒体、および該磁気記録媒体を用いた磁気記録装置。

• 公開日： 2003/05/23
• 出典： 軟磁性層を形成した基板の製造方法、軟磁性層を形成した基板、磁気記録媒体及び磁気記録装置
• 出願人： 昭和電工株式会社

次に、このような水素透過性能、強度に優れた水素透過支持体を得ると共に、この水素透過支持体の表面の少なくとも一方に水素透過を接合することにより、水素透過膜を有する水素透過部材を製造する。この水素透過部材は、例えば水素透過支持体の表面部に研磨を施して平滑化し、Ｐｄ等を、めっき、気相化学反応、 スパッタリング 等の方法によって水素透過膜を水素透過支持体の表面に形成させるものである。

• 公開日： 2008/03/13
• 出典： 水素透過膜支持体および水素透過膜部材とその製造方法
• 出願人： 山陽特殊製鋼株式会社

スパッタリング 装置、およびスパッタリング装置を介してターゲットから基板上へ材料をスパッタリングする方法に関し、ターゲットの利用性を高くし、基板上へのデポジットに利用される領域のより均一な分布を実現することを目的とする。

• 公開日： 2010/02/12
• 出典： スパッタリング装置、およびスパッタリング装置を介してターゲットから基板上へ材料をスパッタリングする方法
• 出願人： シーゲイトテクノロジーエルエルシー

ターゲットの表面処理が施される部分は、 スパッタリング 工程によって変えることができる。一般的に、ターゲットの一面がスパッタリングに用いられ、その面に表面処理が施される。しかし、ターゲットの構造及び使用方法によっては、ターゲットの他の部分にも表面処理を施すようにしてもよい。

• 公開日： 2010/09/02
• 出典： スパッタリングのバーンインに要する時間を短縮してスパッタリングの際に発生するパーティクルを最小限に抑える方法、及びこのときに用いられるターゲットアセンブリ
• 出願人： マテリアルリサーチコーポレーション

以上の各方法にれば、反射防止と帯電防止の両方に対して実用的な効果を奏することが可能な導電性反射防止膜が、蒸着または スパッタリング により、またそれらにエッチング処理を加えて成膜できる。

• 公開日： 2005/07/07
• 出典： 導電性反射防止膜およびその成膜方法、それを備えた画像表示装置、透光板並びにプロジェクタ
• 出願人： セイコーエプソン株式会社