スパッタリング の意味・用法を知る

また、この方法は、バンプ間のギャップを充填するため及びセットを囲む絶縁フレームを形成するために、適合絶縁性材料をラミネートすること、バンプを露出させるためにラミネーション材料グラインドすること、プラズマ洗浄すること、及び金属の少なくとも一つの層を スパッタリング することを含む。

• 公開日：2017/09/07
• 出典：バッチパッケージング低ピンカウント埋め込み半導体チップの構造及び方法
• 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社

酸化物 スパッタリング ターゲット材のボンディング作業工程やスパッタリング工程における熱扱いに起因する割れの発生を抑制できる酸化物スパッタリングターゲット材を提供する。

• 公開日：2017/02/16
• 出典：酸化物スパッタリングターゲット材
• 出願人：日立金属株式会社

スパッタリング の際にパーティクルの発生の少ない銅合金スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供することを課題とする。

• 公開日：2018/03/08
• 出典：銅合金スパッタリングターゲット及びその製造方法
• 出願人：ＪＸ金属株式会社

ナノ結晶ダイヤモンド層を堆積させるための方法が、本明細書に開示される。方法は、第１の処理チャンバの処理領域に位置付けられた基板にスパッタガスを供給することであって、第１の処理チャンバが炭素含有スパッタターゲットを有している、供給することと； スパッタリング プラズマを作り出すためにスパッタガスにエネルギーパルスを供給することであって、スパッタリングプラズマがスパッタリング持続時間を有し、エネルギーパルスが、１Ｗ／ｃｍ２から１０Ｗ／ｃｍ２の間の平均電力、及び１００μｓ未満かつ３０μｓ超であるパルス幅を有し、スパッタリングプラズマが、３００ガウス未満である磁場によって制御される、供給することと；基板の...

• 公開日：2017/11/24
• 出典：高密度高Ｓｐ３含有層を実現するための高電力インパルスマグネトロンスパッタリング処理
• 出願人：アプライドマテリアルズ，インコーポレイティド

ターゲット中の空孔に係る形状、大きさを特定して、高電力の スパッタリング を行った場合でも、スプラッシュや異常放電の発生を抑制し、安定したスパッタリングを可能とするＣｕ−Ｇａ合金スパッタリングターゲットを提供する。

• 公開日：2016/02/25
• 出典：Ｃｕ－Ｇａ合金スパッタリングターゲット及びその製造方法
• 出願人：三菱マテリアル株式会社

スパッタリング の際に異常放電を防止することができ、パーティクルの発生が少ないスパッタリングターゲットの提供。

• 公開日：2016/05/09
• 出典：Ｔｉ－Ａｌ合金スパッタリングターゲット
• 出願人：ＪＸ金属株式会社

処理チャンバ１４内のＨＩＰＩＭＳ放電によって発生したＷ，ＭｏおよびＣイオンが加速されてワークピース表面を同時に衝撃する前処理後、ＷおよびＭｏの少なくとも１つの金属を、ＨＩＰＩＭＳ スパッタリング を含んでも良いマグネトロン・スパッタリングによって、２０〜１０００ｎｍの範囲の厚さで金属および／または窒化金属の推移層、さらに推移層上にＨＩＰＩＭＳスパッタリングにより、金属が５〜２０原子％ドープされたＣコーティング、即ち、金属Ｍｃの原子％の炭素Ｃの原子％に対する比が１：４を超えない量で存在する、金属ドープされたＣコーティングを含む堆積物のコーティング。

• 公開日：2016/02/18
• 出典：境界潤滑状態となる高温で動作する堆積物のコーティングおよびその方法
• 出願人：アイエッチアイハウザーテクノコーティングベー．フェー．

モリブデンを含む或いはモリブデンからなり、 スパッタリング される面のビッカース硬度がＨｖ２００以上であるスパッタリングターゲット用材料。

• 公開日：2015/12/10
• 出典：スパッタリングターゲット用材料
• 出願人：株式会社アライドマテリアル

上記ＩＴＯナノワイヤ分散液に含まれる個々のＩＴＯナノワイヤの作製方法としては、 スパッタリング によりスパッタリング基材上に下地層及びこの下地層から伸びるＩＴＯナノワイヤを形成した後、上記スパッタリング基材表面から研磨装置や超音波カッターなどを用いてＩＴＯナノワイヤを削り取る方法や、化学エッチングにより上記下地層を除去することでＩＴＯナノワイヤを得る方法が好ましい。

• 公開日：2016/04/04
• 出典：透明導電膜
• 出願人：積水化学工業株式会社

スパッタリング 時の初期のパーティクルの発生を抑制し、バーンイン時間を短縮することが可能なスパッタリングターゲット製造方法の提供。

• 公開日：2016/11/10
• 出典：スパッタリングターゲットの製造方法
• 出願人：ＪＸ金属株式会社