スパッタリング の意味・用法を知る

真空チャンバ１内に配置されるターゲット３１の スパッタリング される表面をスパッタ面３１ａとし、スパッタ面の温度を測定する本発明の温度測定方法は、スパッタ面と平行な面内でスパッタ面の所定の範囲を横切って移動する真空チャンバ内の可動部品たる搬送ロボットＲに温度検出手段６を設け、スパッタリングが終了した後に、可動部品をスパッタ面に対して相対移動させながら、温度検出手段によりスパッタ面の温度を測定する。

• 公開日：2017/02/02
• 出典：温度測定方法
• 出願人：株式会社アルバック

スパッタリング 動作中に、ターゲットとバッキングプレートとが剥離することのないスパッタリングターゲットを提供する。

• 公開日：2017/01/05
• 出典：スパッタリングターゲット組立体
• 出願人：株式会社高純度化学研究所

導電性基板の黒化層として適用するための光学特性を有し、かつ、配線層と同時にエッチングできるエッチング性を有することの可能な スパッタリング 用合金ターゲットを提供する。

• 公開日：2016/12/22
• 出典：スパッタリング用合金ターゲット、及びスパッタリング用合金ターゲットの製造方法
• 出願人：住友金属鉱山シポレックス株式会社

...ｅｎｔ Ｖｉｓｉｂｌｅ Ｌｉｇｈｔ Ｐｈｏｔｏｃａｔａｌｙｓｔ． Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）、光還元（Ａｂｅら、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ、１３０（２５）：７７８０〜７７８１頁、２００８年）および／または スパッタリング のような合成後方法論によって提供する

• 公開日：2016/09/08
• 出典：透明光触媒コーティングおよびそれを製造する方法
• 出願人：日東電工株式会社

基板の上に中間層を形成することと、前記中間層の上に磁性材料と分離体材料を スパッタリング することによって磁性層を成膜することとを含み、前記スパッタリングにより、結晶性分離体によって分離された柱状の磁性粒状体を形成する、方法。

• 公開日：2015/07/16
• 出典：磁気スタック
• 出願人：シーゲイトテクノロジーエルエルシー

本発明の スパッタリング ターゲットは、成形により製造することができ、改善されたスパッタリング挙動を示す。

• 公開日：2017/01/19
• 出典：スパッタリングターゲット及びその製造方法
• 出願人：プランゼーエスエー

成膜時にターゲット中心に形成されたリデポ膜をダミースパッタにより効率よく除去することができ、ダミースパッタ終了後に成膜のための スパッタリング を行ったときに膜厚や膜質の面内分布を再現するマグネトロンスパッタリング装置用磁石ユニットを提供する。

• 公開日：2016/09/01
• 出典：マグネトロンスパッタリング装置用の磁石ユニット及びこの磁石ユニットを用いたスパッタリング方法
• 出願人：株式会社アルバック

ドラム内に粒状担体を供給する供給工程（Ｓ１１）と、ドラム１０を軸線周りに回転させながらドラム１０の軸線方向における一方側端部と他方側端部とが相対的に上下に入れ替わるようにドラムを揺動させて スパッタリング を行う触媒担持用スパッタリング工程（Ｓ１２）と、ドラムを傾斜させてドラムから粒状担体を排出させることで粒状担体を回収する回収工程（Ｓ１３）と、を有するものとする。

• 公開日：2018/03/22
• 出典：カーボンナノチューブ合成用触媒の製造方法
• 出願人：日立化成株式会社

また、上記Ｇａの含有量を０．１〜５０質量％とした理由は、５０質量％を超えると、低融点相が析出してしまうためであり、０．１質量％未満であると、ＣＩＧＳ太陽電池の前駆体として使用する際、Ｇａ量が少ないため、所望特性の膜を得るには、 スパッタリング 成膜の前に、或いは、その後に、Ｇａ添加が必要となり、製造ステップが増えるためである。

• 公開日：2017/01/19
• 出典：スパッタリングターゲット及びその製造方法
• 出願人：三菱マテリアル株式会社

本発明は、上述の課題に鑑みてなされたもので、光記録媒体保護膜形成用として、記録媒体としての保存性が高く、柔らかく割れ難い膜を成膜可能であると共に、直流（ＤＣ） スパッタリング が可能で、かつ、パーティクルも少ない酸化物スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する

• 公開日：2014/11/20
• 出典：酸化物スパッタリングターゲット及びその製造方法
• 出願人：三菱マテリアル株式会社