ガス の意味・用法を知る

このためゲートバルブ４０を開いたときにＮ２ ガス が、真空搬送室２から処理容器３０へ流入する方向の流れ、及び載置台５の表面の中心部から周縁部に向かい、載置台５の周縁から下方に向かう気流を維持したまま、ゲートバルブ４０を開いて、ウエハＷを搬送することができ、付着物１００の載置台５の上方への飛散を抑制することができる。

• 公開日：2017/07/27
• 出典：真空処理装置及び真空処理装置の運転方法。
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

ガス を供給する際に生じる圧力の低下dPが、チャンバ内に既に導入されている投入材料Mを通過する際のガスの圧力の低下dMを超えるように、開口125,146,155,185が設けられている。

• 公開日：2017/07/20
• 出典：熱分解によって有機材料から炭素および炭化水素をリサイクルするための装置および処理方法
• 出願人：エスエーエスイーピァアクチエボラグ

熱源として ガス 熱源装置と太陽集熱器を併用した温水循環方式の床暖房システムであって、より一層の省エネルギー化を図ることができ、しかも、より快適な暖房効果が得られる床暖房システムを提供する。

• 公開日：2018/04/12
• 出典：床暖房システム
• 出願人：三菱樹脂インフラテック株式会社

アダプタの上面は、 ガス 入口の半径方向内側に位置付けられた内側溝２２６と、この内側溝の半径方向外側に位置付けられた外側溝２２７とを含む。

• 公開日：2016/12/15
• 出典：高温基板台座モジュール及びその構成要素
• 出願人：ラムリサーチコーポレイション

この不活性 ガス は原料ガスまたは反応ガスが供給される間はこれらのガスのキャリアガスとして作用し、原料ガス及び反応ガスの供給が行われない間はパージガスとして作用する。

• 公開日：2018/02/08
• 出典：ガス供給装置及びガス供給方法
• 出願人：東京エレクトロン株式会社

放射線の減衰は、 ガス 又はガスを含むハウジングに対して圧力を追加又は除去することにより変更されることが可能であり、3D放射線イメージングにおける動的なビーム・シェーパーとしての使用に適したものにする。

• 公開日：2018/01/11
• 出典：ビーム・シェーパー及び減衰方法
• 出願人：シグニファイホールディングビーヴィ

...空チャンバと流体連通する少なくとも１つの ガス 源であり、前記少なくとも１つのガス源は、処理時に前記真空チャンバにプロセスガスを供給するように動作可能である、ガス源と、請求項１に記載の面板と、裏板とを含むシャワーヘッドアセンブリであり、前記裏板は、前記少なくとも１つのガス源と流体連通する少なくとも１つのガス入口を含み、前記面板内の前記ガスホールは、処理時に前記プロセスガスを前記真空チャンバ内へ分布させる、シャワーヘッドアセンブリと、前記成膜装置内で処理されるときの基板を上面で支持するように構成された基板台座アセンブリと、を備える成膜装置。

• 公開日：2017/06/22
• 出典：シャワーヘッドアセンブリ
• 出願人：ラムリサーチコーポレイション

上記第３の検出素子は、上記所定の構造を有する第３の振動子を有し、上記 ガス の温度により共振周波数変化を生じる。

• 公開日：2018/03/29
• 出典：ガスセンサ及びガス検出方法
• 出願人：太陽誘電株式会社

請求項１〜7のいずれかに記載の硬質皮膜被覆工具を化学蒸着法により製造する方法であって、TiCl4 ガス 、AlCl3ガス、NH3ガス、N2ガス及びH2ガスの合計を100体積％として、0.1〜0.8体積%のTiCl4ガス、0.4〜1.2体積％のAlCl3ガス、4.0〜23.5体積％のN2ガス、及び残部H2ガスからなるとともに、AlCl3ガスに対するTiCl4ガスの体積比（TiCl4／AlCl3）が0.3〜0.7である混合ガスAと、0.7〜1.9体積％のNH3ガス、3〜16.5体積％のN2ガス、及び残部H2ガスからなる混合ガスBとからなる原料ガスを供給することにより、前記窒化チタンアルミニウム皮膜を形...

• 公開日：2018/04/05
• 出典：硬質皮膜被覆工具及びその製造方法
• 出願人：三菱日立ツール株式会社

本発明に係る酸化ニッケルの製造方法は、炉本体の下方に形成される固定層と、前記固定層の上に形成される流動媒体層とを備えた流動焙焼炉を用いて水酸化ニッケルを焙焼し、酸化ニッケルを製造する酸化ニッケルの製造方法であって、前記流動焙焼炉の固定層から流動媒体層に向けて ガス を供給し、かつ前記流動焙焼炉の他の方向から前記流動媒体層にガスを供給しながら、前記水酸化ニッケルを焙焼する。

• 公開日：2018/02/01
• 出典：酸化ニッケルの製造方法、流動焙焼炉
• 出願人：住友金属鉱山シポレックス株式会社