パルス変調 の意味・用法を知る

本発明は、第一のガスと第二のガスを用いて被エッチング膜をプラズマエッチングするプラズマ処理方法において、前記第一のガスは、前記被エッチング膜のエッチングを促進させるガスであり、前記第二のガスは、前記被エッチング膜の側壁に反応層を形成させるガスであり、前記第一のガスを供給している間、前記第二のガスの供給を パルス変調 させることを特徴とする。

• 公開日：2016/02/01
• 出典：プラズマ処理方法
• 出願人：株式会社日立ハイテクサイエンス

所定の周波数の局部発振器が出力するローカル信号を パルス変調 基準信号でパルス変調され、所定のタイミングで送信され、目標物に反射された、レーダ信号を受信するアンテナと、前記レーダ信号を増幅する増幅器と、増幅された前記レーダ信号を所定のサンプリング周波数でサンプリングするＡ−Ｄ変換器と、前記ローカル信号の周波数と前記パルス変調基準信号の周波数を加算した値との差が閾値以下である値、または前記サンプリング周波数から前記ローカル信号の周波数と前記パルス変調基準信号の周波数を減算した値との差が閾値以下である値、を周波数とする受信側パルス変調基準信号を出力する発振器と、前記受信側パルス変調基準信号の位相を調節...

• 公開日：2014/08/07
• 出典：レーダ装置およびレーダ信号受信方法
• 出願人：三菱電機株式会社

外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ、一定および パルス変調 の高周波電力を供給するプラズマ生成用電源装置において、前記パルス変調の高周波電力のパルスデューティ比および前記パルス変調の高周波電力のレベルおよび前記パルス変調の高周波電力の増幅素子の消費電流により、前記パルス変調の高周波電力の増幅素子のドレイン電源電圧を切り替えることを特徴とするプラズマ生成用電源装置の制御方法。

• 公開日：2017/03/09
• 出典：プラズマ生成用電源装置およびその制御方法
• 出願人：株式会社日立国際電気

先ず一つ目の課題は、マイクロ波のみを パルス変調 し、連続した高周波バイアスを印加すると、マイクロ波がオフしている期間、すなわち電子温度が下がる期間に、高周波バイアス電源のピーク・トウ・ピーク電圧(以下、Vppと称する)が跳ね上がる現象が発生することである

• 公開日：2016/02/18
• 出典：プラズマ処理装置
• 出願人：株式会社日立ハイテクサイエンス

本発明は、放電時に直列に接続される複数の放電モジュールと、前記複数の放電モジュールに対応し、対応する放電モジュールを導通するように、それぞれが対応する放電モジュールにトリガ信号を提供する複数のトリガと、前記複数の放電モジュールを順次に遅延して導通するように、トリガ信号を制御するための制御ロジックモジュールと、電圧を出力するための出力端と、を備える パルス変調 電源を提供する。

• 公開日：2015/02/16
• 出典：パルス出力を制御するためのデバイス及び方法
• 出願人：清華同方威視技術股分有限公司

プラズマを発生させるためのマイクロ波をパルス状に パルス変調 し、オン時のマイクロ波電力値をカットオフ現象が生じる電力値より高く設定し、デューティー比を６５％以下、好ましくは５０％以下に変化させることにより、マイクロ波の平均電力を制御する。

• 公開日：2013/04/22
• 出典：ドライエッチング方法およびプラズマエッチング装置
• 出願人：株式会社日立ハイテクサイエンス

パルス変調 後の信号の立上り及び立下りにおいてジッタが発生しないようにする。

• 公開日：2011/11/24
• 出典：パルス変調装置及びパルス変調方法
• 出願人：ＮＥＣネットワーク・センサ株式会社

絶縁部の出力から負帰還信号を発生させる負帰還信号発生部と、絶縁部の出力から発生した負帰還信号と入力オーディオ信号との合成信号を パルス変調 して、パルス変調されたオーディオ信号を発生させるパルス変調部と、前記パルス変調されたオーディオ信号に基づいて、直流電圧をスイッチングするスイッチング部と、前記スイッチング部の出力を変成して出力する絶縁トランスと、前記パルス変調されたオーディオ信号をフォトカップリングして、前記スイッチング部に提供するフォトカプラーと、前記絶縁トランスの出力を低域通過フィルタリングして、前記オーディオ信号に相応する出力オーディオ信号を出力する低域通過フィルタと、を備え、前記スイッ...

• 登録日：2013/11/22
• 出典：デジタルオーディオ信号増幅器及びこれに適したデジタルオーディオ信号増幅方法
• 出願人：サムスンエレクトロニクスカンパニーリミテッド

光伝送路に入射されたレーザ光を光カプラ４−１で２分岐し、分岐されたレーザ光をそれぞれ強度変調器３−１，３−２で パルス変調 し、パルス変調された一方のパルス光を試験光として被測定光ファイバ７に入射し、当該ファイバ７からの後方散乱光を光カプラ４−２で取り出し、パルス変調された他方のパルス光を参照光として光カプラ４−３にて被測定光ファイバ７からの後方散乱光に合波することでコヒーレント検波し、検波された信号を用いてサンプリングよるＯＴＤＲ波形を求める。

• 公開日：2011/03/24
• 出典：光線路特性測定方法及び装置
• 出願人：東日本電信電話株式会社

超音波デバイス２０は、特定のビーム特性を実現するためにパターン変更時に同時に又は互いに独立して パルス変調 されうる。

• 公開日：2020/03/26
• 出典：表面洗浄のためのシステム及び方法
• 出願人：ザ・ボーイング・カンパニー