ウェットエッチング

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2011年～現在までの特許出願のデータを参考にしています。

2011年4月～ 2021年4月までの特許出願のデータを参考にしています。

この分野への新規参入

• 2021年4月 横　展　開 穴あけ、型抜、切断刃以外の手段による切断分野からバリアン・セミコンダクター・エキップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッドが新規参入したことが分かりました。
• 2021年2月 異分野参入 ＳＯＩ，アクティブマトリクス、ＳＯＳ分野から株式会社フィルネックスが新規参入したことが分かりました。
• 2021年2月 横　展　開 同定コンビナトリアル技術分野からボードオブリージェンツ，ザユニバーシティオブテキサスシステムが新規参入したことが分かりました。
• 2021年2月 横　展　開 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等分野からエーティーアンドエスオーストリアテクノロジーアンドシステムテクニックアクツィエンゲゼルシャフトが新規参入したことが分かりました。
• 2021年2月 横　展　開 マニプレータ分野から三友セミコンエンジニアリング株式会社が新規参入したことが分かりました。

他分野への技術展開

• 2021年4月 異分野参入 日立オートモティブシステムズ株式会社が一般的な熱交換又は熱伝導装置の細部２に新規参入したことが分かりました。
• 2021年4月 異分野参入 日立オートモティブシステムズ株式会社が水蒸気または蒸気凝縮器に新規参入したことが分かりました。
• 2021年4月 異分野参入 日立オートモティブシステムズ株式会社が直接接触による熱交換装置に新規参入したことが分かりました。
• 2021年3月 異分野参入 東芝デバイス＆ストレージ株式会社が温度及び熱量の測定に新規参入したことが分かりました。
• 2021年3月 異分野参入 東芝デバイス＆ストレージ株式会社が清浄化一般に新規参入したことが分かりました。

この分野からの撤退

• 2021年3月 撤　退 モーゼルヴィテリックインコーポレイテッドが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年3月 撤　退 インファインオン・テクノロジーズ・アーゲーが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年2月 撤　退 デクセリアルズ株式会社が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年2月 撤　退 株式会社日立製作所が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年2月 撤　退 フェアチャイルドセミコンダクターコーポレーションが撤退した可能性が高いことがわかりました。

この分野における最新動向

• 消滅 ＣＫＤ株式会社 の技術「 サックバックバルブ」の特許権利が消滅しました。

  （2021/04/23）

• 消滅 アンテルユニヴェルシテール・ミクロ−エレクトロニカ・サントリュム・ヴェー・ゼッド・ドゥブルヴェ の技術「 基板の表面の局所化された液体処理のための方法及び装置」の特許権利が消滅しました。

  （2021/04/20）

• 特許 エクソジェネシスコーポレーション の技術「 ガスクラスタイオンビーム技術に基づく中性ビーム処理を用いて極めて浅くエッチングする方法」が登録されたことがわかりました。

  （2021/04/06）

この分野の技術一覧

この分野の主な発明者