半導体のドライエッチング

分野別法人力スコア^※に基づくシェアにより、ランキングを掲載しています。

2011年～現在までの特許出願のデータを参考にしています。

2011年6月～ 2021年6月までの特許出願のデータを参考にしています。

この分野への新規参入

• 2021年5月 横　展　開 腕輪，腕時計バンドの輪の構成分野からサン−ゴバンサントルドレシェルシュエデテュドユーロペアンが新規参入したことが分かりました。
• 2021年4月 横　展　開 光起電力装置分野から中国科学院蘇州納米技術与納米ファン生研究所が新規参入したことが分かりました。
• 2021年4月 横　展　開 マニプレータ分野からアトナープ株式会社が新規参入したことが分かりました。
• 2021年2月 横　展　開 廃棄物の焼却（５）分野からコミヤマエレクトロン株式会社が新規参入したことが分かりました。
• 2021年2月 異分野参入 ＳＯＩ，アクティブマトリクス、ＳＯＳ分野から株式会社フィルネックスが新規参入したことが分かりました。

他分野への技術展開

• 2021年5月 異分野参入 日本電産株式会社が鋳造後の仕上げ処理に新規参入したことが分かりました。
• 2021年5月 異分野参入 国立大学法人島根大学が非鉄金属または合金の熱処理に新規参入したことが分かりました。
• 2021年5月 横　展　開 株式会社ＰｒｅｆｅｒｒｅｄＮｅｔｗｏｒｋｓが訓練用具に新規参入したことが分かりました。
• 2021年5月 異分野参入 セントレナショナルドゥラレシェルシェサイエンティフィークが多孔性物品の製造および廃物の回収・処理に新規参入したことが分かりました。
• 2021年5月 横　展　開 セントレナショナルドゥラレシェルシェサイエンティフィークが可変コンデンサに新規参入したことが分かりました。

この分野からの撤退

• 2021年5月 撤　退 三菱化学エンジニアリング株式会社が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年5月 撤　退 オラミルセミコンダクターイクイプメントリミテッドが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年5月 撤　退 株式会社山形信越石英が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年4月 撤　退 台灣茂夕電子股分有限公司が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年4月 撤　退 シーメンスアーゲーが撤退した可能性が高いことがわかりました。

この分野における最新動向

• 消滅 株式会社アルバック の技術「 高誘電体のエッチング装置」の特許権利が消滅しました。

  （2021/06/15）

• 消滅 新光電気工業株式会社 の技術「 半導体装置の製造方法」の特許権利が消滅しました。

  （2021/06/14）

• 消滅 キヤノンアネルバ株式会社 の技術「 基板保持機構及び基板処理装置」の特許権利が消滅しました。

  （2021/06/14）

この分野の技術一覧

この分野の主な発明者