半導体のドライエッチング

分野別法人力スコア^※に基づくシェアにより、ランキングを掲載しています。

2011年～現在までの特許出願のデータを参考にしています。

2011年9月～ 2021年9月までの特許出願のデータを参考にしています。

この分野への新規参入

• 2021年6月 異分野参入 洗浄性組成物分野から株式会社アドバンテックが新規参入したことが分かりました。
• 2021年6月 横　展　開 突然変異または遺伝子工学分野からコリア・ベーシック・サイエンス・インスティテュートが新規参入したことが分かりました。
• 2021年6月 横　展　開 食品の保存（凍結・冷却・乾燥を除く）分野から株式会社クメタ製作所が新規参入したことが分かりました。
• 2021年5月 横　展　開 腕輪，腕時計バンドの輪の構成分野からサン−ゴバンサントルドレシェルシュエデテュドユーロペアンが新規参入したことが分かりました。
• 2021年4月 横　展　開 光起電力装置分野から中国科学院蘇州納米技術与納米ファン生研究所が新規参入したことが分かりました。

他分野への技術展開

• 2021年8月 異分野参入 株式会社ＰｒｅｆｅｒｒｅｄＮｅｔｗｏｒｋｓが通信制御に新規参入したことが分かりました。
• 2021年8月 異分野参入 日本電産株式会社がカメラレンズの調整に新規参入したことが分かりました。
• 2021年8月 異分野参入 中国科学院蘇州納米技術与納米ファン生研究所が圧電・機械振動子，遅延・フィルタ回路に新規参入したことが分かりました。
• 2021年8月 異分野参入 ルミレッズホールディングベーフェーが珪素及び珪素化合物に新規参入したことが分かりました。
• 2021年8月 異分野参入 エイブリック株式会社が研削盤の構成部分、駆動、検出、制御に新規参入したことが分かりました。

この分野からの撤退

• 2021年8月 撤　退 株式会社日本レーザーが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年8月 撤　退 ルネサスシステムデザイン株式会社が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年8月 撤　退 ハイディステクノロジーカンパニーリミテッドが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年8月 撤　退 ヘレーウスノーブルライトゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2021年8月 撤　退 アジレントテクノロジーズインコーポレイテッドが撤退した可能性が高いことがわかりました。

この分野における最新動向

• 消滅 ラムリサーチコーポレイション の技術「 プラズマを閉じ込める処理室構成」の特許権利が消滅しました。

  （2021/09/25）

• 消滅 東京エレクトロン株式会社 , ルネサスエレクトロニクス株式会社 , ルネサスエレクトロニクス株式会社 , パナソニック株式会社 , ダイキン工業株式会社 , キヤノンアネルバ株式会社 , 三洋電機株式会社 , 株式会社日立国際電気 , ソニー株式会社 , シャープ株式会社 , 株式会社東芝 , 富士通株式会社 , 旭硝子株式会社 , 昭和電工株式会社 , 株式会社アルバック , 関東電化工業株式会社 , 独立行政法人産業技術総合研究所 の技術「 反応器の内部をクリーニングするため、ならびにケイ素含有化合物の膜をエッチングするためのガス組成物」の特許権利が消滅しました。

  （2021/09/21）

• 消滅 独立行政法人産業技術総合研究所 の技術「 プラズマ発生装置」の特許権利が消滅しました。

  （2021/09/20）

この分野の技術一覧

この分野の主な発明者