半導体のドライエッチング

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2009年～現在までの特許出願のデータを参考にしています。

2009年2月～ 2019年2月までの特許出願のデータを参考にしています。

この分野への新規参入

• 2019年1月 横　展　開 飼料（２）（一般）分野から学校法人名城大学が新規参入したことが分かりました。
• 2019年1月 異分野参入 結晶、結晶のための後処理分野からグローバルウェーハズカンパニーリミテッドが新規参入したことが分かりました。
• 2019年1月 横　展　開 他に分類されない音響（残響，カラオケ等）分野から日本コントロールシステム株式会社が新規参入したことが分かりました。
• 2018年12月 横　展　開 遠心分離機分野から株式会社ジェイテックコーポレーションが新規参入したことが分かりました。
• 2018年12月 横　展　開 加工の種類に特徴のある切断分野から東邦エンジニアリング株式会社が新規参入したことが分かりました。

他分野への技術展開

• 2019年2月 横　展　開 株式会社ブイ・テクノロジーが各種放電ランプと付属装置に新規参入したことが分かりました。
• 2019年2月 横　展　開 株式会社ブイ・テクノロジーが放電灯用うつわ・被膜に新規参入したことが分かりました。
• 2019年1月 異分野参入 サントルナショナルデラルシェルシュシアンティフィックが生物学的材料の調査，分析に新規参入したことが分かりました。
• 2019年1月 横　展　開 サントルナショナルデラルシェルシュシアンティフィックが突然変異または遺伝子工学に新規参入したことが分かりました。
• 2019年1月 横　展　開 サントルナショナルデラルシェルシュシアンティフィックが酵素、微生物を含む測定、試験に新規参入したことが分かりました。

この分野からの撤退

• 2019年1月 撤　退 ミリポア・コーポレイションが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年12月 撤　退 エフエスアイインターナショナルが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年11月 撤　退 シャープ・マイクロエレクトロニクス・テクノロジー・インコーポレイテッドが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年11月 撤　退 ＮＥＣトーキン株式会社が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年11月 撤　退 ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトが撤退した可能性が高いことがわかりました。

この分野における最新動向

• 消滅 株式会社ＳＯＫＥＮ , 株式会社デンソー の技術「 半導体力学量センサの製造方法」の特許権利が消滅しました。

  （2019/02/19）

• 消滅 レーザーテック株式会社 の技術「 段差測定装置並びにこの段差測定装置を用いたエッチングモニタ装置及びエッチング方法」の特許権利が消滅しました。

  （2019/02/17）

• 消滅 スピードファム株式会社 の技術「 ウエハ平坦化方法」の特許権利が消滅しました。

  （2019/02/12）

この分野の技術一覧

この分野の主な発明者