半導体のドライエッチング

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2008年～現在までの特許出願のデータを参考にしています。

2008年12月～ 2018年12月までの特許出願のデータを参考にしています。

この分野への新規参入

• 2018年11月 横　展　開 嵌合装置及び印刷回路との接合分野からヴィシェイジェネラルセミコンダクター，エルエルシーが新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 横　展　開 総合的工場管理分野からアルバック・クライオ株式会社が新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 横　展　開 地中削孔分野からトータルソシエテアノニムが新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 横　展　開 プレス機械及び付属装置分野からボンドテック株式会社が新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 横　展　開 タイムレコーダ・稼動の登録分野からコンチネンタルオートモーティヴゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングが新規参入したことが分かりました。

他分野への技術展開

• 2018年11月 異分野参入 サントルナショナルデラルシェルシュシアンティフィックがチアゾール系化合物に新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 異分野参入 サントルナショナルデラルシェルシュシアンティフィックが他の有機化合物及び無機化合物含有医薬に新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 異分野参入 サントルナショナルデラルシェルシュシアンティフィックが化合物または医薬の治療活性に新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 横　展　開 コンチネンタルオートモーティヴゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングが内燃機関の潤滑に新規参入したことが分かりました。
• 2018年11月 異分野参入 シーゲイトテクノロジーエルエルシーが予備電源装置に新規参入したことが分かりました。

この分野からの撤退

• 2018年11月 撤　退 シャープ・マイクロエレクトロニクス・テクノロジー・インコーポレイテッドが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年11月 撤　退 ＮＥＣトーキン株式会社が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年11月 撤　退 ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年11月 撤　退 デポジション・サイエンシス，インコーポレイテッドが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2018年11月 撤　退 三菱商事株式会社が撤退した可能性が高いことがわかりました。

この分野における最新動向

• 消滅 ラムリサーチコーポレイション の技術「 フォーカスリングおよびそのための方法」の特許権利が消滅しました。

  （2018/12/11）

• 消滅 富士通セミコンダクター株式会社 の技術「 半導体装置の製造方法」の特許権利が消滅しました。

  （2018/12/04）

• 消滅 セイコーインスツル株式会社 の技術「 集束イオンビーム加工方法及び装置」の特許権利が消滅しました。

  （2018/12/04）

この分野の技術一覧

この分野の主な発明者