半導体のドライエッチング

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2009年～現在までの特許出願のデータを参考にしています。

2009年4月～ 2019年4月までの特許出願のデータを参考にしています。

この分野への新規参入

• 2019年3月 異分野参入 結晶、結晶のための後処理分野からプラズマビリティー，エルエルシーが新規参入したことが分かりました。
• 2019年3月 横　展　開 木材のありみぞ加工、釘・ステープル打ち機分野から株式会社小糸製作所が新規参入したことが分かりました。
• 2019年2月 異分野参入 ＣＶＤ分野からアーエスエム・イーぺー・ホールディング・ベスローテン・フェンノートシャップが新規参入したことが分かりました。
• 2019年2月 異分野参入 物理蒸着分野からコブスエスアエスが新規参入したことが分かりました。
• 2019年2月 横　展　開 ＬＥＤ素子（パッケージ以外）分野から株式会社サイオクスが新規参入したことが分かりました。

他分野への技術展開

• 2019年3月 異分野参入 華為技術有限公司が印刷回路の非金属質の保護被覆に新規参入したことが分かりました。
• 2019年3月 異分野参入 華為技術有限公司が印刷回路に対する電気部品等の電気的接続に新規参入したことが分かりました。
• 2019年3月 異分野参入 エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハーが抵抗加熱に新規参入したことが分かりました。
• 2019年3月 異分野参入 華為技術有限公司が機械時計に新規参入したことが分かりました。
• 2019年3月 横　展　開 愛知製鋼株式会社が訓練用具に新規参入したことが分かりました。

この分野からの撤退

• 2019年4月 撤　退 科学技術庁金属材料技術研究所長が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2019年3月 撤　退 ノースキャロライナステイトユニヴァーシティーが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2019年2月 撤　退 ティーディーケー−ミクロナスゲーエムベーハーが撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2019年2月 撤　退 東芝機械株式会社が撤退した可能性が高いことがわかりました。
• 2019年2月 撤　退 マイクロマッスル、アクチボラグが撤退した可能性が高いことがわかりました。

この分野における最新動向

• 消滅 通商産業省基礎産業局長 の技術「 プラズマビーム生成装置」の特許権利が消滅しました。

  （2019/04/23）

• 消滅 岩谷産業株式会社 の技術「 腐食性ガス供給系での腐食低減方法」の特許権利が消滅しました。

  （2019/04/23）

• 消滅 芝浦メカトロニクス株式会社 の技術「 マイクロ波放電装置」の特許権利が消滅しました。

  （2019/04/22）

この分野の技術一覧

この分野の主な発明者