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2017年2月～2020年2月までの特許出願のデータを参考にしています。
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特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ
偏光光照射装置の特許が登録されました。
（2019/08/30）
露光装置、露光方法及びミラー曲げ機構付き反射鏡の特許が登録されました。
（2019/08/23）
白色発光装置の特許が登録されました。
（2019/08/16）
ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法の特許が登録されました。
（2019/08/02）
マスク製造装置及びマスク製造装置の制御方法の特許が登録されました。
（2019/08/02）
