マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法の特許が登録されました。
(2020/12/14)
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2018年1月~2021年1月までの特許出願のデータを参考にしています。
2018年1月~2021年1月の期間において撤退した分野はありません
2018年1月~2021年1月の期間において異分野参入・横展開した分野はありません
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マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法の特許が登録されました。
(2020/12/14)
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法の特許が登録されました。
(2020/12/07)
描画装置および描画方法の特許が登録されました。
(2020/12/04)
検査装置および変位量検出方法の特許が登録されました。
(2020/12/04)
成長速度測定装置および成長速度検出方法の特許が登録されました。
(2020/11/27)