研磨用ワーク保持盤および研磨装置ならびに研磨方法の特許権利が期間満了により消滅しました。
(2021/03/26)
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2018年4月~2021年4月までの特許出願のデータを参考にしています。
2018年4月~2021年4月の期間において撤退した分野はありません
2018年4月~2021年4月の期間において異分野参入・横展開した分野はありません
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研磨用ワーク保持盤および研磨装置ならびに研磨方法の特許権利が期間満了により消滅しました。
(2021/03/26)
回転テーブル用ウェーハ加熱保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置の特許が登録されました。
(2021/02/12)
回転テーブル用ウェーハ回転保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置の特許が登録されました。
(2021/02/12)
銅膜付着シリコン単結晶ウエーハの再生方法および再生ウエーハの特許権利が期間満了により消滅しました。
(2020/11/22)
ウェーハ裏面の処理装置及び方法の特許権利が期間満了により消滅しました。
(2020/10/06)